４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアムが管理・運営する装置は、次の手順によりご利用いただけます。
大学関係(教職員、研究員、学生)の方は大学向けHPをご参照ください
※クリーンルームのFFU(ファンフィルターユニット)交換作業のため、下記の期間はご利用いただけません。
利用停止期間(予定)
ホワイトルーム(CR)：2025年12月22日(月)～2026年1月19日(月)13時
イエロールーム(YR)：2026年1月7日(水)～2026年1月28日(水)13時
利用相談
微細加工・評価に関することをなんでもご相談ください。 技術スタッフが実現方法を一緒に考えます。無償です。
利用申請
このページの下にある利用申請書ファイルをダウンロードし、ご記入後にメールでお送りください。
安全講習
ご利用される方全員に安全講習の受講をお願いしております。 安全講習が終了すると、ＩＤが発行され、装置の予約が可能になります。
装置予約
予約システムWebサイトからご利用される装置を予約します。（ID、PWが必要です）初回はコーディネーター、スタッフが代行することも可能です。
装置利用
ご利用される方にご自由に操作していただきます。 初めてご利用になる装置については、技術スタッフが丁寧に説明いたします。 なお、技術スタッフによる受託加工や作業代行は原則いたしておりません。
支払請求
利用料は月末締めで集計し、請求先様に連絡いたします。 内容を確認後、指定口座にお振込みください。
記入要領をお読みいただき下記のメールアドレスに様式第１号、２号をお送りください。
