【終了しました】ナノファブスクエア第14回【金属薄膜形成1】開催案内

新川崎にあるNANOBICオープンラボ において、ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催しています。

本年度第14回として、プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習します。また、実際に装置を使った実習会も行います。



参加ご希望の方は下記のgoogleフォームよりお申込みください。

日時:2023年10月5日(木) 13:30~16:30(講習1時間、実習2時間)

費用:13,000円

定員:先着5名程度

実習内容:プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習します。また、実際に装置を使った実習会も行います。

実習機器:ECRイオンビームスパッタ成膜装置 EIS-230W 製造:㈱エリオニクス

講師  :茂木 克雄 先生(東京電機大学 工学部 電子システム工学科 教授)

場所  :かわさき新産業創造センター AIRBIC 会議室8(川崎市幸区新川崎7-7 新川崎・創造のもり)

             ▶ アクセス

実習会案内パンフレット: ▶ ご案内パンフレット 

今後の実施計画:     ▶ 年間スケジュール 

実習会参加申込:        ▶ 申込フォーム

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主催:4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市

なお、第7回「パッケージ」は都合により延期しています。開催時期は 未定 です。


川崎市に事業所を有する中小企業の皆様は、川崎市からの補助が受けられます。川崎市補助金募集案内

本講習・実習会は、日本工学会ECE(高度技術者教育)プログラムの認定のもと実施しており、所期の成績を収めた方には修了証とNano Fab Square Award 各賞を授与いたします。

ECE認定プログラムコース案内

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