【終了しました】ナノファブスクエア第１３回【パリレン薄膜形成】開催案内

新川崎にあるNANOBICオープンラボにおいて、ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催しています。

本年度第13回として、パリレン蒸着装置を使った薄膜形成法の原理について講習します。また、実際に装置を使った実習会も行います。

参加ご希望の方は下記のgoogleフォームよりお申込みください。

日時：２０２３年９月２１日（木）　１３：３０～１６：３０（講習1時間、実習２時間）

費用：13,000円

定員：先着５名程度

実習内容：パリレン蒸着装置を使った薄膜形成法の原理について講習します。また、実際に装置を使った実習会も行います。

実習機器：パリレン蒸着装置　PDS-２０１０

講師　　：高橋英俊先生(慶應義塾大学理工学部機械工学科准教授)

場所　　：かわさき新産業創造センター　NANOBIC会議室2（川崎市幸区新川崎７－７新川崎・創造のもり）

　　　　　　　　　　　　　▶　アクセス

実習会案内パンフレット：　▶　ご案内パンフレット　

今後の実施計画：　　　　　▶　年間スケジュール　

実習会参加申込：　　　　 ▶　申込フォーム

主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市

なお、第７回「パッケージ」は都合により延期しています。開催時期は未定です。

川崎市に事業所を有する中小企業の皆様は、川崎市からの補助が受けられます。川崎市補助金募集案内

本講習・実習会は、日本工学会ECE（高度技術者教育）プログラムの認定のもと実施しており、所期の成績を収めた方には修了証とNano Fab Square Award 各賞を授与いたします。