クリーンルーム(379m2

クラス10000(206m2)のホワイトルームとクラス100(173m2)のイエロールームがあります。

クラス10000 : 206m2
クラス100 : 173m2(イエロールーム)

微細加工、評価・計測が可能です

ナノ・マイクロサイズのデバイスは、成膜→パターニング(露光・フォトリソグラフィ)→エッチング→評価・計測という流れで作製されます。

NANOBICには、それぞれの作業に必要な約35台以上の各種装置が導入されています。同じ作業分野でも装置によって機能が異なり、NANOBICでは、さまざまな技術開発に対応できる研究機器を整備しています。

流路に液体が流れる様子


もっと詳しく知りたい方

装置紹介や加工例、観察例などを下記のパンフレットに載せています。どうぞご覧ください。

設備一覧のページも用意しております。

設備一覧のページ