2022年度も、新川崎にあるNANOBICオープンラボ において、ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、
理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催しています。
本年度第16回として、感光性レジストを均一膜厚に全自動塗布する装置の仕組みについて講習を行います。
さらにNANOBICの装置を使って実習を行っていただくことで、その技術を習得できます。
参加ご希望の方は申込用紙を下記よりダウンロードして、オープンラボ事務局宛のメールに添付してお送り下さい。
日時：2022年12月22日（木） 13：30 ～ 16：30
費用：11,000円（実費+コロナ対策費）
定員：先着５名程度
講師：田口 良広 先生 （慶應義塾大学理工学部 教授）
実習内容：感光性レジストを均一膜厚に全自動塗布する装置の仕組みについて講習を行います。
さらに NANOBIC の装置を使って実習を行っていただくことで、その技術を習得できます。
実習機器：クラスタ型コータデベロッパ GAMMA ズース・マイクロテック(株)製
場所：かわさき新産業創造センター AIRBIC 会議室１（川崎市幸区新川崎7-7 新川崎・創造のもり）
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主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市