２０２２年度も、新川崎にあるNANOBICオープンラボ において、ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、
理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催しています。
本年度第14回として、プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習します。また、実際に装置を使った実習会も行います。
参加ご希望の方は申込用紙を下記URLからダウンロードして、オープンラボ事務局宛のメールに添付してお送り下さい。
日時：２０２２年１０月２０日（木） １３：３０ ～ １６：３０
費用：11,000円（実費+コロナ対策費）
定員：先着５名程度
講師：茂木 克雄 先生（東京電機大学 工学部 電子システム工学科 教授）
実習内容：プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習します。また、実際に装置を使った実習会も行います。
実習機器：ECRイオンビームスパッタ成膜装置 EIS-230W
場所：かわさき新産業創造センター NANOBIC 会議室１（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり）
AIRBIC会議室１ から変更になりました。
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主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市