２０２２年度も、新川崎にあるNANOBICオープンラボ において、ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、
理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催しています。
本年度第12回として、液滴チップ等、マイクロ流路の試作で必要となるAu/Cr スパッタ膜の電極パターニングを
ウエットエッチングで行う実践的な実習を体験していただきます。
参加ご希望の方は申込用紙を下記URLからダウンロードして、オープンラボ事務局 宛のメールに添付してお送り下さい。
日時：２０２２年９月２２日（木） １３：３０ ～ １６：３０
費用：11,000円（実費+コロナ対策費）
定員：先着５名程度
講師：佐藤 友美 先生 ((地独) 神奈川県立産業技術総合研究所)
実習内容：液滴チップ等、マイクロ流路の試作で必要となるAu/Cr スパッタ膜の電極パターニングを
ウェットエッチングで行う実践的な実習を体験していただきます。
実習機器：ドラフトチャンバー
場所：かわさき新産業創造センター AIRBIC 会議室１（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり）
▶ アクセス
実習会案内パンフレット： ▶ ご案内パンフレット
今後の実施計画： ▶ 年間スケジュール
実習会参加申込書： ▶ 申込書
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市