２０２２年度も、新川崎にあるNANOBICオープンラボ において、ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催します。
本年度第１回として、レーザー直接描画装置を用いたフォトマスクの作製方法についての原理を講習し、実際に装置を使ってモデルチップ（液滴生成チップ）のクロムマスク作製の体験実習を行います。
参加ご希望の方は申込用紙を下記URLからダウンロードして、オープンラボ事務局 宛のメールに添付してお送り下さい。
日時：２０２２年５月１２日（木） １３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
費用：11,000円（実費+コロナ対策費）
定員：先着５名程度
実習内容：フォトレジストへのリソグラフィの体験実習
実習機器：レーザー直接描画装置DWL66fs（Heiderberg Instruments Mikrotechnik社製）
講師 ：山本 貴富喜 准教授 （東京工業大学工学院）
場所 ：かわさき新産業創造センター NANOBIC 会議室１（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり）
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主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
本講習・実習会は、日本工学会ECE（高度技術者教育）プログラムの認定のもと実施しており、所期の成績を収めた方には修了証とNano Fab Square Award各賞を授与いたします。
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