ナノファブスクエア第15回【レジスト塗布】開催案内

2025年度も、新川崎にあるNANOBICオープンラボ において、
ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、
理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催しています。

今年度第15回として、感光性レジストを均一に塗布する装置の仕組みについて講習を行ないます。
さらにNANOBICの装置を使って実習を行なっていただくことで、その技術を習得できます。

参加ご希望の方は下記の申込フォームよりお申込みください。

日時:2025年11月6日(木) 13:30~16:30(講習1時間、実習2時間)

費用:13,000円

定員:先着5名程度

実習内容:感光性レジストを均一膜厚に全自動塗布する装置の 仕組みについて講習を行ないます。さらにNANOBICの装置を使って実習も行います。

実習機器:クラスタ型コータデベロッパ GAMMA(ズース・マイクロテック㈱製造)
     スピンコータ MS-A200(ミカサ㈱製造)

講師  :田口 良広 先生 (慶應義塾大学 理工学部・理工学研究科 教授)

場所  :かわさき新産業創造センター AIRBIC会議室8(川崎市幸区新川崎7-7 新川崎・創造のもり)

             ▶ アクセス

実習会案内パンフレット: ▶ ご案内パンフレット

今後の実施計画:     ▶ 年間スケジュール

実習会参加申込:        ▶ 申込フォーム

主催:4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市


本講習・実習会は、日本工学会ECE(高度技術者教育)プログラムの認定のもと実施しており、
所期の成績を収めた方には修了証とNano Fab Square Award各賞を授与いたします。
ECE認定プログラムコース案内