ナノファブスクエア第8回【ガラスエッチング】開催案内

2024年度も、新川崎にあるNANOBICオープンラボ において、ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、
理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催しています。

本年度第8回として、プラズマを使ったガラスの深掘りエッチングについて、原理の講習と実際に装置を使った実習を行ないます。
参加ご希望の方は下記の申込フォームよりお申込みください。

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日時:2024年11月21日(木) 13:30 ~ 16:30(講習1時間、実習2時間)

費用:13,000円

定員:先着5名程度

実習内容:プラズマを使ったガラスの深掘りエッチングについて、原理の講習と実際に装置を使った実習を行ないます。

実習機器:高密度プラズマドライエッチング装置 NLD-570(株式会社アルバック 製造)

講師  :塚原 剛彦 先生(東京科学大学 総合研究院 ゼロカーボンエネルギー研究所 教授)

場所  :かわさき新産業創造センター NANOBIC会議室2(川崎市幸区新川崎7-7 新川崎・創造のもり)

             ▶ アクセス

実習会案内パンフレット: ▶ ご案内パンフレット

今後の実施計画:     ▶ 年間スケジュール

実習会参加申込:        ▶ 申込フォーム

お問い合わせ:      ▶ (クリックするとメーラーが開きます)

主催:4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市


本講習・実習会は、日本工学会ECE(高度技術者教育)プログラムの認定のもと実施しており、
所期の成績を収めた方には修了証とNano Fab Square Award各賞を授与いたします。