2024年度も、新川崎にあるNANOBICオープンラボ において、ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、
理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催しています。
本年度第8回として、プラズマを使ったガラスの深掘りエッチングについて、原理の講習と実際に装置を使った実習を行ないます。
参加ご希望の方は下記の申込フォームよりお申込みください。
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日時:2024年11月21日(木) 13:30 ~ 16:30(講習1時間、実習2時間)
費用:13,000円
定員:先着5名程度
実習内容:プラズマを使ったガラスの深掘りエッチングについて、原理の講習と実際に装置を使った実習を行ないます。
実習機器:高密度プラズマドライエッチング装置 NLD-570(株式会社アルバック 製造)
講師 :塚原 剛彦 先生(東京科学大学 総合研究院 ゼロカーボンエネルギー研究所 教授)
場所 :かわさき新産業創造センター NANOBIC会議室2(川崎市幸区新川崎7-7 新川崎・創造のもり)
▶ アクセス
実習会案内パンフレット: ▶ ご案内パンフレット
今後の実施計画: ▶ 年間スケジュール
実習会参加申込: ▶ 申込フォーム
お問い合わせ: ▶ (クリックするとメーラーが開きます)主催:4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
本講習・実習会は、日本工学会ECE(高度技術者教育)プログラムの認定のもと実施しており、
所期の成績を収めた方には修了証とNano Fab Square Award各賞を授与いたします。