新川崎・創造のもり地区にあるナノ・マイクロ産学官共同研究施設『NANOBIC』(https://open-labo.skr.jp/) において、
4大学(慶應、早稲田、東京科学大、東大)の先端機器による講習・実習会 「ナノファブスクェア」を開催しています。
(https://open-labo.skr.jp/wp-content/uploads/nanofabpanf2025.pdf)
今回はKISTEC海老名本部の設備・装置を使用し、「首都圏地下鉄路線網シリコンマイクロ流路」をモデルチップとし、
シリコン酸化、シリコン異方性エッチング、ナノパターン形成および陽極接合について学ぶことができます。
本講座は日本工学会ECE認定プログラムに該当し、全4回を受講することで認定証をお渡しすることができます。
詳細およびお申し込みは下記のリンク先をご覧ください。
https://www.kistec.jp/learn/nanotech/
※申し込み方法や受講料支払い方法などが新川崎での開催と異なりますので、リンク先をよくご確認ください。
第2回 6月 5日(木)13:30~16:30 <シリコン酸化>
申込締切: 5月15日(木)
第3回 6月12日(木)13:30~16:30 <シリコン異方性エッチング>
申込締切: 5月22日(木)
第4回 6月19日(木)13:30~16:30 <ナノパターン形成>
申込締切: 5月29日(木)
第6回 6月26日(木)13:30~16:30 <陽極接合>
申込締切: 6月 5日(木)
(第5回は6月25日(水)にデバイス接合の講義のみを予定しております。)
会 場:地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所 海老名本部
受講料:各回13,000円(税込、テキスト代込)
定 員:5名
<お問い合わせ先>
地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)
人材育成部 教育研修課 産業人材研修グループ
TEL:046-236-1500、E-mail:sm_sangyoujinzai@kistec.jp