2024年度も、新川崎にあるNANOBICオープンラボ において、ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、
理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催しています。
本年度第１３回として、プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習します。また、実際に装置を使った実習会も行ないます。
参加ご希望の方は下記の申込フォームよりお申込みください。
※なお、第８回「ガラスエッチング」は都合により延期しています。開催時期は 未定 です。
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日時：2024年１０月３日（木） 13：30 ～ 16：30（講習１時間、実習２時間）
費用：13,000円
定員：先着５名程度
実習内容：プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習します。また、実際に装置を使った実習会も行ないます。
実習機器：ECRイオンビームスパッタ成膜装置 EIS-230W（株式会社エリオニクス製）
講師 ：茂木 克雄 先生（東京電機大学 工学部 教授）
場所 ：かわさき新産業創造センター AIRBIC 会議室１（川崎市幸区新川崎７-７ 新川崎・創造のもり）
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お問い合わせ： ▶ (クリックするとメーラーが開きます)
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
本講習・実習会は、日本工学会ECE（高度技術者教育）プログラムの認定のもと実施しており、
所期の成績を収めた方には修了証とNano Fab Square Award各賞を授与いたします。