新川崎にあるNANOBICオープンラボ において、ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、
理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催しています。
本年度第16回として、フォトリソ工程、特に感光性レジストを塗布する装置や方法について講習を行い、さらにNANOBIC の装置を使って実習を行っていただきます。
参加ご希望の方は下記の申込フォームよりお申込みください。
日時：２０２３年１１月１６日（木） １３：３０～１６：３０（講習1時間、実習２時間）
費用：13,000円
定員：先着５名程度
実習内容：感光性レジストを均一膜厚に全自動塗布する装置の仕組みについて講習を行い、更にNANOBIC の装置を使って実習を行っていただくことで、その技術を習得できます。
実習機器：クラスタ型コータデベロッパ GAMMA 製造：ズース・マイクロテック(株)
スピンコータ MS-A２００ 製造：ミカサ(株)
講師 ：田口 良広 先生 （慶應義塾大学 理工学部 教授）
場所 ：かわさき新産業創造センター NANOBIC 会議室２（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり）
▶ アクセス
実習会案内パンフレット： ▶ ご案内パンフレット
今後の実施計画： ▶ 年間スケジュール
実習会参加申込： ▶ 申込フォーム
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
なお、第７回「パッケージ」は都合により延期しています。開催時期は 未定 です。
川崎市に事業所を有する中小企業の皆様は、川崎市からの補助が受けられます。川崎市補助金募集案内
本講習・実習会は、日本工学会ECE（高度技術者教育）プログラムの認定のもと実施しており、所期の成績を収めた方には修了証とNano Fab Square Award 各賞を授与いたします。
ECE認定プログラムコース案内