２０２２年度も、新川崎にあるNANOBICオープンラボ において、ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催しています。
本年度第８回として、プラズマを使ったガラスの深掘りエッチングについて、原理の講習と、実際に装置を使った実習を行います。
参加ご希望の方は申込用紙を下記URLからダウンロードして、オープンラボ事務局 宛のメールに添付してお送り下さい。
日時：２０２２年７月２１日（木） １３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
費用：11,000円（実費+コロナ対策費）
定員：先着５名程度
実習内容：プラズマを使ったガラスの深掘りエッチングについて、原理の講習と、実際に装置を使った実習を行います。
実習機器：高密度プラズマドライエッチング装置 （株）アルバック社製 NLD-570
講師 ：塚原 剛彦 先生 (東京工業大学 科学技術創成研究院 先導原子力研究所 教授)
場所 ：かわさき新産業創造センター AIRBIC 会議室１（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり）
▶ アクセス
実習会案内パンフレット： ▶ ご案内パンフレット
今後の実施計画： ▶ 年間スケジュール
実習会参加申込書： ▶ 申込書
定員に達しました。たくさんのご応募ありがとうございました。
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
本講習・実習会は、日本工学会ECE（高度技術者教育）プログラムの認定のもと実施しており、所期の成績を収めた方には修了証とNano Fab Square Award各賞を授与いたします。
ECE認定プログラムコース案内