２０２２年度も、新川崎にあるNANOBICオープンラボ において、ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催しています。
本年度第７回として、シリコンの深掘り加工の原理や、応用事例について講習を行います。さらにNANOBICの装置を使って実習を行っていただくことで、その技術を習得できます。
参加ご希望の方は申込用紙を下記URLからダウンロードして、オープンラボ事務局 宛のメールに添付してお送り下さい。
日時：２０２２年７月８日（金） １３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
費用：11,000円（実費+コロナ対策費）
定員：先着５名程度
実習内容：シリコンの深掘り加工の原理や、応用事例について講習を行います。 さらにNANOBICの装置を使って実習を行っていただくことで、その技術を習得できます。
実習機器：シリコン深掘りDRIE装置 MUC-２１（住友精密工業（株）製）
講師 ：関口 哲志 先生（早稲田大学ナノ・ライフ創新研究機構研究院教授)
場所 ：かわさき新産業創造センター AIRBIC 会議室８（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり）
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実習会案内パンフレット： ▶ ご案内パンフレット
今後の実施計画： ▶ 年間スケジュール
実習会参加申込書： ▶ 申込書
定員に達しました。たくさんのお申込みありがとうございました。
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
本講習・実習会は、日本工学会ECE（高度技術者教育）プログラムの認定のもと実施しており、所期の成績を収めた方には修了証とNano Fab Square Award各賞を授与いたします。
ECE認定プログラムコース案内