NANOBICオープンラボは、慶應義塾大学、早稲田大学、 東京工業大学、東京大学の４大学が
連携・協力して「新川崎・創造のもり」に設立したナノマイクロ加工・評価機器を備えた
先端研究・試作拠点です。
クリーンルームには３５種類以上の最先端の精密加工・観察装置がそろっており、一般企業の
皆様にも御利用いただけます。
このホームページでは実際にご利用頂くための手続きなどのご案内や、施設紹介、装置の一覧
などを掲載しております。
興味が御座いましたら、お気軽に「お問い合わせ」のページの担当者までご連絡下さい。
見学もいつでも受け付けております。
★「４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム・シンポジウム／
(併催)MEMS集中講義in川崎」の開催案内
特別講演及びナノ・マイクロファブリケーションに関する先端活用事例を紹介する
シンポジウムを下記の通りに開催いたします。
今回は、東北大学，MEMSパークコンソーシアム主催のMEMS集中講義と併せて開催します。
場所：川崎市産業振興会館 神奈川県川崎市幸区堀川町66番地20
（案内図：http://www.kawasaki-net.ne.jp/kaikan/access.html ）
主催：4大学ナノ・マイクロファブリケ―ションコンソーシアム
日程・プログラム：
●8月2日（水）午後 『4大学コンソーシアム・シンポジウム』
・特別講演
１．「フォトンサイエンスによるイノベーションの創出－高精細3Dプリンタ，
臓器透明化技術－」
講師 東京大学 湯本 潤司氏
２．「LiDAR技術とその応用」
講師 株式会社日立LGデータストレージ 新谷 俊通氏
３．「コンソーシアム活動状況」 東京大学 三宅 亮
・NANOBIC*見学会 (希望者) 見学会場(川崎市幸区新川崎7-7 新川崎・創造のもり地区
へ移動
*場所は「アクセス」のページをご覧ください。
●(併催)7月31日（月） ～ 8月2日（水） 『MEMS集中講義 in 川崎』
詳細は、下記開催案内パンフをご覧ください。
参加申込：
お名前，ご所属，見学会希望有無をご記入の上、
4dai-symp@4daigaku.com へお申込み下さい（当日受付可）。
開催案内パンプ： ▶ シンポジウム開催案内
★ナノファブスクエア第６回『加工表面観察 講習・実習会』
日時：２０１７年８月２４日（木） １３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師： ブルカー・エイエックスエス㈱ ブルカーナノ表面計測事業部 寺山剛司氏
実習機器：ブルカー・エイエックスエス社製
超解像度表面形状計測装置（WYKO NT9100A）*
触針式表面形状測定器 （ DEKTAK XT-A）*
実習内容：微細加工表面のプロファイル測定の原理について講習を行います。
さらに、実機を用いた実習で測定技術を習得できます。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC）新館 NANOBIC*
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり ＪＲ新川崎駅から徒歩１０分)
＊「NANOBICオープンラボ」ホームページ http://open-labo.skr.jp/ の
機器一覧及びアクセスをご覧下さい。
定員：先着５名程度
参加費：無料
主催：(地独)神奈川県立産業技術総合研究所（KISTEC)
川崎市
４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
協力：ブルカー・エイエックスエス㈱ブルカーナノ表面計測事業部
講習実習会案内パンフレット： ▶ ご案内パンフレット
ナノファブスクエア案内パンフレット：▶ 案内パンフレット
申込問合せ先：KISTEC 唐澤 karasawa@newkast.or.jp
TEL 080-6560-3061
★ナノファブスクエア第４回『手動両面マスクアライナ装置講習・実習会』
終了しました。
日時：２０１７年６月２３日（金） １４：００～１７：００（講習１時間、実習２時間）
講師：佐藤 友美（（地独）神奈川県立産業総合研究所、東京大学大学院工学系研究科）
実習機器：手動両面マスクアライナ装置
(SUSS MicroTech社製 SUSS MA6 BSA) *
実習内容：フォトレジストの性質、精密露光や現像のテクニックについて講習を行います。
さらにNANOBICのマスクアライナーを使って実習を行っていただくことで、
精密フォトリソグラフィを習得できます。
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC）新館 NANOBIC*
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり ＪＲ新川崎駅から徒歩１０分)
＊「NANOBICオープンラボ」ホームページ http://open-labo.skr.jp/ の機器一覧及び
アクセスをご覧下さい。
定員：先着５名程度 参加費：1万円(実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所、
川崎市
共催：次世代マイクロ化学チップコンソーシアム
講習実習会案内パンフレット： ▶ ご案内パンフレット
参加申込書： ▶ 参加申込書
★ナノファブスクエア第３回『クラスター型コータディベロッパ・スピンコータ装置講習・実習会』
終了しました。
日時：２０１７年６月９日（金） １４：００～１７：００（講習１時間、実習２時間）
講師：田口良広（慶應義塾大学 准教授）
実習機器：クラスター型コーターディベロッパ・スピンコータ
(SUSS MicroTech社製GAMMA) *
実習内容：マイクロ加工のための、レジスト膜全自動バッチ塗布の体験実習
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC）新館 NANOBIC*
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり ＪＲ新川崎駅から徒歩１０分)
＊「NANOBICオープンラボ」ホームページ http://open-labo.skr.jp/ の機器一覧及び
アクセスをご覧下さい。
定員：先着５名程度 参加費：1万円(実費）
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所、
川崎市
共催：次世代マイクロ化学チップコンソーシアム
講習実習会案内パンフレット：▶ 案内パンフレット
ナノファブスクエア案内パンフレット：▶ 案内パンフレット
★ナノファブスクエア第２回『レーザー直接描画装置講習・実習会』終了しました
日時：２０１７年５月１２日（金） １３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
講師：山本貴富喜（東京工業大学工学院 准教授）
実習機器：レーザー直接描画装置 (Heiderberg Instruments Mikrotechnik社製DWL66fs) *
実習内容：マスクレスマイクロフォトリソグラフィの体験実習
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC）新館 NANOBIC*
（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり ＪＲ新川崎駅から徒歩１０分)
＊「NANOBICオープンラボ」ホームページ http://open-labo.skr.jp/ の機器一覧及び
アクセスをご覧下さい。
定員：先着５名程度 参加費：1万円(実費）
参加者：7名でした。
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所、
川崎市
共催：次世代マイクロ化学チップコンソーシアム
講習実習会案内パンフレット：▶ 案内パンフレット
ナノファブスクエア案内パンフレット：▶ 案内パンフレット
★MEMS Engineer Forum 2017が開催されました
日時：2017年4月26日（水）～ 27日（木）
場所：両国KFCホール
ＨＰ： http://www.m-e-f.info/
（参考）参加団体：東京大学 三宅研究室
４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
★４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム シンポジウムを開催しました。
テーマ：『ナノ・マイクロ研究拠点における産学連携と科学技術人材育成』
日時： 2017年3月13日(月)１３:００～１８:００
場 所：新川崎・創造のもり地区 K2タウンキャンパス 大会議室
〒212-0032 神奈川県川崎市幸区新川崎7-7
（地図： https://goo.gl/maps/ySmqKdFwhVn）
参加費：無 料
参加お申し込み：①お名前 ②ご所属 ③見学会希望有無 を記載の上、
４大学コンソーシアムシンポジウム事務局
4dai-symp@4daigaku.com
まで、メールにてお申込みください。
ご案内パンフレット： ▶ 案内パンフレット
【特別講演テーマ】
脳構造を模したデバイスの現状とコグニティブコンピューティングに
向けた挑戦
日本アイ・ビー・エム 東京基礎研究所 サイエンス＆テクノロジー部長
新川崎事業所長 山道 新太郎 様
★「超解像度顕微鏡STED講習・実習会」を開催しました。
日時：２０１７年３月９日（木）１３：３０～１６：３０
場所：かわさき新産業創造センター（KBIC)
講師：笠間敏博 （東京大学大学院工学系研究科 助教）
実習内容：レーザーの光で通常の光学顕微鏡では見えない80nm領域に迫る
超解像イメージングの体験実習
（多重免疫染色したHeLa細胞のSTED観察）
定員：先着5名程度 ⇒ 10名参加されました。～～参加者の声を追って掲載予定～～
参加費：無料
問い合わせ先： 唐澤 志郎 E-mail : karasawa@newkast.or.jp Tel：080-6560-3061
ご案内パンフレット：▶ 案内パンフレット
★ナノテク展に出展しました
名称：nano tech 2017 第16回 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議
日時：2017年2月15日（水）～ 17日（金）10：00-17：00
会場：東京ビッグサイト東4・5・6ホール&会議棟
ＨＰ： http://www.nanotechexpo.jp/main/
★装置実習会を開催しました。
装置 ： ４元マグネトロンスパッタ装置
日時 ： 2016年12月19日（月）13:00 ～ 17:00
会場 ： NANOBICクリーンルーム及びKBIC小会議室
川崎市幸区新川崎７－１ 新川崎・創造のもり地区
参加費 ： 無料
人数 ： 5名（先着順）
案内パンプ： ▶ ４元マグネトロンスパッタ装置実習会案内
★ナノ茶論第8回セミナーを開催しました。
2016年12月16日(金) 15：30～17：00
発表者：東京理科大学 基礎工学部 電子応用工学科 谷口 淳 教授
発表テーマ：ロールナノインプリント技術と反射防止構造の作製
★装置講習会を開催しました
装置 ： コータディベロッパー
講師 ： ズース・マイクロテック（株）様
日時 ： 2016年11月16日（水）13:00 ～ 17:00
会場 ： NANOBICクリーンルーム及びKBIC小会議室
川崎市幸区新川崎７－１ 新川崎・創造のもり地区
（集合場所：NANOBICロビー）
参加費 ： 無料
人数 ：15名（先着順）
★４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム シンポジウムを開催しました。
日時 ： 2016年9月28日（水）13:00 ～ 17:40
会場：K2タウンキャンパス大会議室
川崎市幸区新川崎７－１ 新川崎・創造のもり地区
★2016年7月21日
2016年度マルチチップマイクロ流路試作実習会（７月２１日開催）開催しました。
主 催： 公益財団法人神奈川科学技術アカデミー, 川崎市、
４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
実習機器 ： レーザー直接描画装置（Heidelberg Instruments社製DWL66FS）他
講 師： 東京大学大学院工学系研究科 教授 三宅 亮 研究室
国際工学教育推進機構、バイオエンジニアリング専攻（兼務）
場 所： 新産業創造センター NANOBIC 川崎市幸区新川崎7-7 新川崎創造のもり地区
日 時： 2016年７月2１日 9:45～（実習時間は5時間程度）
定 員： 5名（先着順）
★2016年7月15日
ナノ茶論第４回セミナーを開催しました。
日時 ： ２０１６年７月１５日（金）15:30 ～ 17:00
発表者：中央大学 理工学部精密機械工学科 教授 鈴木 宏明 氏
発表テーマ：機械（メカ）屋から見た細胞
場所 ： 新川崎・創造のもり「KBIC」（川崎市幸区新川崎７－７）
参加費 ： 500円
主催 ： 川崎市
★テクノトランスファー併催セミナーを開催しました。
MEMSの最新動向とオープンコラボレーション
開催日時：平成28年7月6日(水）13:30～15:30
場所：かながわサイエンスパーク（KSP）
〒213-0012 川崎市高津区坂戸3-2-1 709会議室
発表者：東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター長
江刺 正喜 氏
発表テーマ：MEMSの最新動向とオープンコラボレーション
★ナノ茶論第３回セミナーを開催しました。
日時 ： ２０１６年６月２４日（金）15:30 ～ 17:00
発表者：千葉大学 大学院工学研究科・工学部 教授 尾松 孝茂 氏
発表テーマ：光渦の輻射力が創る単結晶性シリコンニードルとその応用
場所 ： 新川崎・創造のもり「KBIC」（川崎市幸区新川崎７）
参加費 ： 500円
主催 ： 川崎市
★４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム・シンポジウムが３月２９日に
開催されました。
テーマ：ナノ・マイクロ研究拠点における産学連携と先端活用事例
会場：新川崎・創造のもり地区
開催日：３月２９日（火）13:00～16:40
参加費：無料
⇒ 開催案内
★2015年度マルチチップマイクロ流路試作実習会が３月２日に開催されました
日 時： 2016年3月2日 NANOBIC （実習時間は5時間程度）
主 催： 公益財団法人神奈川科学技術アカデミー、 川崎市、
４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
実習機器 ： レーザー直接描画装置（Heidelberg Instruments社製DWL66FS）他
講 師： 東京大学大学院工学系研究科 教授 三宅 亮 研究室
国際工学教育推進機構、バイオエンジニアリング専攻（兼務）
場 所： 新産業創造センター NANOBIC 川崎市幸区新川崎7-7 新川崎創造のもり地区
研修目標 ： 複数ユーザーのマルチチップを同一ウエハ上に設計したマイクロ流路の
CADデータを迅速にマスクレスレーザーリソグラフィによりSU8レジストに
描画し鋳型を作製、鋳型にPDMSの樹脂を流しマイクロ流路を試作する方法
について実習、代表的試作マイクロ流路により機能の観察までを体験します。
なお、試作の流路はお持ち帰りいただけます。
★第15回 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議に出展しました。
日時：2016年1月27日（水） - 1月29日（金）10：00-17：00
場所：東京ビッグサイト東4・5・6ホール 会議棟 小間番５Ｕ－０１
https://ics-event.smktg.jp/public/application/add/246?lang=ja
セミナーA会場で主催者セミナーを行いました。
１月２７日（初日）１５：０５－１５：５０
★７月度ナノ茶論が開催されました。
日時 ： ２０１５年７月３０日（木）15:30 ～ 17:00
テーマ：「使える、使い続けられる」インフラ点検ロボット
講師 ： 株式会社イクシスリサーチ 代表取締役 山崎文敬氏
参加者数：１５名
イクシスリサーチ社が開発しているインフラ点検ロボットの紹介でした。
高速道路の橋やトンネル、下水管の内部などを点検するロボットで、
一見ローテクに思えるものですが、現場で確実に使えるものを目指
しています。
損壊した原発内部へ行くものは、絶対に帰ってくるもの、
途中で故障してその後の作業の邪魔になるようなことがないもの、
と言うのが条件です。
大変興味深い内容でした。
★６月度ナノ茶論が開催されました。
日時 ： ２０１５年６月２５日（木）15:30 ～ 17:00
テーマ：SCIVAXのナノインプリント技術
高輝度LEDからカラーセンサーまで
講師 ： SCIVAX株式会社 取締役副社長 奥田徳路 氏
参加者数：１８名
SCIVAX 社が開発しているカラーセンサーの実物デモがありました。
また、SCIVAXライフサイエンス社が開発した細胞培養プレートが、
アメリカのアマゾンでも買えることの紹介がありました。
★ナノ・マイクロ ビジネス展にポスター展示しました。
名称 ：ナノ・マイクロ ビジネス展／ROBOTECH 次世代ロボット
製造技術展
場所 ：パシフィコ横浜 展示ホール
日時 ：２０１５年４月２２日（水）～２４日（金）
10:00 ～ 17:00
15,000人もの方が来場したビッグイベントで、
LEDパネルを2枚掲示し、多数のパンフレットを配布しました。
★３月度の「ナノ茶論」が開催されました。
日時：２０１５年３月２４日（火）15:30 ～ 17:00
場所：NANOBIC ２階会議室
テーマ：ナノ・マイクロ技術における産学連携
講師：慶應義塾大学 理工学部 機械工学科 准教授 三木則尚氏
参加者数：１７名
三木先生が研究中の人体埋め込み型人工透析器の紹介があり、
産学連携を進めるための手順について盛んな議論がなされました。
★下記シンポジウムのポスターセッションに参加しました。
日時：２０１５年３月４日（水）13:00 ～ 19:00
場所：東京大学生産技術研究所（駒場） コンベンションホール
テーマ：平成26年度微細加工ナノプラットフォームコンソー
シアム・シンポジウム
NANOBICでの４大学コンソーシアムの取組内容をポスター掲示
しました。
約150人の参加があり、専門性の高い講演が多く、盛況でした。
★２月度の「ナノ茶論」が開催されました。
日時：２０１５年２月１９日（木）15:30 ～ 17:00
場所：NANOBIC ２階会議室
テーマ：ナノインプリントリソグラフィーを用いたＬＥＤ製造技術
講師：株式会社協同インターナショナル 電子部技術課長 大井秀雄氏
参加者数：18名
企業秘密ぎりぎりの内容まで発表して頂き、好評を得ました。
★nano tech 2015 に出展しました。
名称：第14回 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議
日時：2015年1月28日（水） - 1月30日（金）10：00-17：00
場所：東京ビッグサイト東4・5・6ホール＆会議棟
３日目の金曜日は雪交じりの雨でしたが、
３日間で47,649名の入場がありました。
★機器利用実習会を実施しました。
名称：マイクロ流路試作実習会
目的：マスクレスレーザーリソグラフィによる迅速なマイクロ流路の形成を実習
日時：2015年1月14日（水）10:00 ～ 16:00
場所：NANOBIC クリーンルーム
実習装置：レーザー直接描画装置
講師：東京大学 三宅研究室
参加者数：６名
大変好評でした。
★１２月度の「ナノ茶論」が開催されました。
日時：２０１４年１２月１８日（木）15:30 ～ 17:30
場所：NANOBIC ２階会議室
テーマ：応用事例に学ぶマイクロ流路の科学とものづくり
講師：東京大学大学院工学系研究科教授 三宅亮氏
参加者数：２８名
忘年パーティーを兼ねて、この日は特別にアルコールも用意しました。
